ダイヤモンド集積化LSI によるバイオセンシング・イメージング

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ダイヤモンド集積化LSI によるバイオセンシング・イメージング

１．はじめに

次世代の高性能バイオセンシング・イメージングデバイスの一つとして、LSI を集積化した電気化学センサアレイが開発されており、脳の疾患と
関係する神経伝達物質の分泌の様子の観察や、移植用組織の検査など、幅広い応用が期待される。さらなる高付加価値化を目的に、我々はMEMSLSI融合技術の一つである薄膜転写法を用いて「ダイヤモンド電極集積化LSI バイオセンサアレイ」を開発したので、本稿では開発の背景、作製法、性能評価実験などについて紹介する。

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年　代	技　術
1970年代	日米欧で研究開発が始まる。
1980	日本から光造形法の特許出願。
1986	米国で光造形法の特許成立。
1987	世界初の3Dプリンタ発売。
1988	米国で熱溶融積層法の特許成立。
2005	英国でRepRapプロジェクト発足。
2008	熱溶解積層法の特許が失効し、主にパーソナル用途にさまざまなメーカが参入。
2012	米国で3Dプリンタの研究機構（NAMII）設立。
2013	オバマ大統領が3Dプリンタによる米国の製造業回帰を一般教書演説。

方　式	特　徴
光造形法	光硬化性樹脂を用い、レーザ光を集光して2次元走査し、樹脂を一層ずつ固化させる。大型の試作品の製造も可能。
熱溶解積層法	熱で溶かした樹脂を型に押し付けて成型する。熱可塑性樹脂を用いることができる。
粉末焼結法	高出力レーザ光を集光し、樹脂や金属などの粉末を部分的に固化させる。
粉末接着法	主に石膏粉からなる粉末をノズルから噴出する接着剤によって部分的に固化する。
面露光法	光造形法の一種である。一層のデータをプロジェクタによって一括照射して固化させる。
インクジェット法	光造形法の一種である。インクジェットノズルによって樹脂を塗布し、露光して固化させる。

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